X射線發射譜儀(X-ray Emission Spectrometer)是一種通過檢測物質受激發后發射的特征X射線，實現元素定性、定量分析及物質結構研究的科學儀器。其核心原理基于原子內層電子躍遷產生的特征X射線，具有高靈敏度、非破壞性和多元素同時檢測等優勢。
 

　　X射線發射譜儀應用場景：
 

　　材料科學
 

　　催化劑表征：追蹤電催化反應中活性中心結構的動態演化。例如，中國科大團隊利用毫秒級時間分辨ED-XAFS技術，捕捉到鎳鐵氫氧化物在析氧反應中的脫質子過程及高價Ni³?δ物種生成。
 

　　合金成分分析：快速測定金屬材料中主量及微量元素含量，指導工藝優化。
 

　　地質勘探與礦產分析
 

　　礦石品位鑒定：XRF(X射線熒光光譜儀)可無損檢測礦石中稀土元素含量，如“海科衛士K5”便攜式XRF儀用于海關稀土出口管制。
 

　　礦物相分析：結合WDS(波長色散X射線譜儀)高分辨率優勢，區分礦物中微量元素分布。
 

　　環境監測
 

　　大氣顆粒物分析：XRF是PM2.5元素分析的三大手段之一，可同時檢測Al、Si、S、Cl等20余種元素。
 

　　土壤污染評估：快速篩查重金屬(如Pb、Cd、As)污染區域。
 

　　工業質檢
 

　　鋰電池檢測：XRF用于三元電池正極材料元素定量，避免濫用導致爆炸，確保使用壽命。
 

　　半導體制造：檢測晶圓表面金屬污染，控制良率。
 

　　五、技術發展趨勢